DUM-compact Positionsmesssystem
Detektor | L -Lateral Effect | L04 | Q – Four Quadrant |
Maße | 9mm x 9mm | 4mm x 4mm | 10mm x 10mm |
Type | Dual-axis Si resin, No glass | Dual-axis Si resin. No glass | 4XSi resin sectors separated by 30µm gap, no glass |
Möglicher Strahldurchmesser | 50µm - 9mm | 50µm - 4mm | 50µm - 5mm |
Pos. Messbereich | Ø 9mm | Ø 4mm | ±2.5mm vom Zentrum |
Positionsauflösung | ≥ 0.1µm @ 50Hz dig. Filter + Mittelung | ≥ 0.1µm @ 50Hz dig. Filter + Mittelung | ≥ 0.25% des Strahls |
Positionsgenauigkeit | ±12.5µm über 9mm | ±1µm oder ±0.025% des Strahls | ±6µm über 4mm |
Update-Rate | max. 150Hz @ 500Hz dig. Filter |
Spektraler Bereich | 350-1100nm |
Leistungsbereich | 1µW - 10mW mit ND-Filtern |
Leistungs-Messgenauigkeit* | ±5% |