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Excimerlaser MLase MLI-Serie

Produkt-Nr.: MLA-MLI

Die modernen, kompakten Excimerlaser der MLI-Serie von MLase sind UV-Lichtquellen bei 193 nm oder 248 nm mit hohen Pulsenergien bis 16 mJ und Repetitionsraten bis 1.000 Hz!



0,00 € zzgl. MwSt.




Johannes Stierle
Technical Sales & Development Engineer
+49 8153 405-47
j.stierle@laser2000.de
Produktanfrage: Excimerlaser MLase MLI-SerieX



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Marco Weisser
Technical Sales & Development Engineer
+49 8153 405-52
m.weisser@laser2000.de
Produktanfrage: Excimerlaser MLase MLI-SerieX



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Produktbeschreibung

Excimerlaser von MLase

Vielseitig einsetzbare Materialbearbeitungs-Laser mit sehr hohen Pulsenergien. Sie ermöglichen eine kalte Materialbearbeitung und die Erzeugung von winzigen Strukturen im nm-Bereich, beispielsweise für optimale Präzisionsmarkierungen in Glas. 


Excimerlaser sind Gaslaser, welche Strahlung im Bereich der ultravioletten Wellenlängen erzeugen, z. B. bei 193 nm, oder bei 248 nm. 


Diese UV Laser sind kompakte Stand-Alone-Geräte und bieten die höchste auf dem Markt erhältliche Standzeit und Zuverlässigkeit und die niedrigsten Betriebskosten. Durch das homogene Strahlprofil und die Energiestabilisierung sind sie für anspruchsvolle Anwendungen prädestiniert.

Vorteile für den Anwender von Excimerlasern


  • Laser zur Materialbearbeitung bei mit sehr hohen Pulsenergien bis ca. 16 mJ.
  • Robustes, industrietaugliches Design für höchste Zuverlässigkeit.
  • Sanftes Pumpen dank Corona-Vorionisation für ein homogenes Strahlprofil und längere Standzeit.
  • Moderner Festkörperschaltkreis für sofortige Verfügbarkeit ohne nennenswerte Alterung.
  • Neues Röhrendesign mit größerem Gasvolumen, vollständig metallgedichtet (100 % !), für extreme Betriebs- und Standzeiten.
  • Anschluss zum Spülen des Strahlenganges.
  • Inkl. Energiemonitor für stabilisierten Betrieb.
  • Integrierter Sicherheits-Shutter.
  • Kompaktes Design und 1-phasiger 230 V Stromanschluss für einfache Integration.
  • Made in Germany; Lokale Ansprechpartner und Telefonsupport!


Zahlreiche Anwendungen sind nur mit dem Einsatz von Excimerlasern möglich, weil die geringe Wellenlänge im Bereich des ultravioletten Spektrums die folgenden zwei wesentlichen Vorteile bieten:


  1. Es können extrem kleine Strukturen erzeugt und bearbeitet werden, wie beispielsweise in der Lithographie.
  2. Die kurze Pulsdauer und hohe Photonenenergie sorgen für eine kalte Abtragung, ohne das umgebende Material nennenswert aufzuheizen.

Option Wasserkühlung für Excimerlaser

Die Excimerlaser mit dem Zusatz „LC" verfügen zusätzlich über die Möglichkeit der aktiven Wasserkühlung (über Hauswasser, oder externen Wärmetauscher; kein DI-Wasser) und erlauben dadurch einen stabilen Dauerbetrieb mit 100 % Duty Cycle.

Verfügbare Wellenlängen:

Bei den Wellenlängen stehen Ihnen 193 nm (Gas: ArF - Argonflourid) und 248 nm (Gas: KrF - Kryptonflourid) zur Verfügung.


Weitere Wellenlängen sind auf Anfrage möglich, z. B. 157 nm, oder 351 nm. Gerne beraten wir Sie bei der Einrichtung einer geeigneten Anlage zur Versorgung mit den Betriebsgasen.

Ansteuerung und Integration:

Für die Ansteuerung dieser Laser stehen folgende Schnittstellen bereit:

  • USB
  • RS232 (elektrisch)
  • RS232 (optisch / seriellen Lichtwellenleiteranschluss)
  • Trigger-In (optisch)
  • „Kundeninterface" zum Herausführen des Schlüsselschalters, der Start/Stopp-Tasten, zur Shuttersteuerung und zum Einbinden der Interlock-Kreise
 

Über die mitgelieferte Software können alle veränderbaren Parameter (z. B. Repetitionsrate, Pumpspannung, etc.) justiert sowie automatische Gaswechsel durchgeführt werden.


Die Versorgung mit den Betriebsgasen erfolgt mit 6mm-Verschraubungen für Pre-Mix ("Lasergas"), Flush (Spülgas nur erforderlich zum Wechseln der Optiken) sowie für Strahlengangspülung.


Das verbrauchte Lasergas, welches bei jedem Gaswechsel aus dem System extrahiert wird, wird durch einen Aktivkohlefilter vollständig deaktiviert und in die Umgebung abgelassen.

Spezifikationen

ParameterArFKrF
Wellenlänge (nm)193248
Max. Repetitionsrate (Hz)20050010002005001000
Stabilisierte Pulsenergie (mJ)610
Stabilisierte mittlere Leistung (W)1,23,06,02,05,010
Pulsstabilität (Sigma %)< 2
Strahlgröße (FWHM, V x H  )6 x 3
Strahldivergenz (FWHM, V x H mrad)2 x 1
Pulslänge (FWHM) (ns)5-10

Maße, Gewicht, Anschluss:MLIMLI-LC
Maße (l x b x h/mm)560 x 315 x 445560 x 355 x 445
Gewicht (kg)ca. 75ca. 80
KühlungLuftkühlungWasserkühlung
Elektrischer Anschluss230 V, 50/60 Hz, 2000 W max.

Lebensdauerdaten:MLasetyp. Werte der Mitbewerber
dynamische Gaslebensdauer (stab. bei 4 mJ)50 – 100 Mio. Pulseca 20 Mio. Pulse
statische Gaslebensdauer2 – 3 Monateca. 1 – 2 Wochen
Resonator-Optiken>> 200 Mio. Pulseca. 100 Mio.
Röhre> 4 Mrd. Pulseca. 1 Mrd. Pulse

Anwendungen für MLase Excimerlaser:

  • Schreiben von Faser-Bragg-Gittern (FBG)
  • Augenchirurgie-Methoden (Ophthalmologie) mittels LASIK (Laser in-situ-Keratomileusis) und PRK (photorefraktive Keratektomie), bei denen die Form der Hornhaut (Kornea) zu Gunsten der optischen Eigenschaften verändert wird. Hierfür werden ArF-Laser bei 193 nm eingesetzt.
  • Optische Inspektion und Messtechnik
  • Testen von Optiken und Mikrooptiken
  • Laserstrukturierung und Scribing
  • Mikromaterialbearbeitung, beispielsweise in Keramik, Metall, oder Kunststoff
  • Laserablation/Laserstrahlverdampfen (Pulsed Laser Deposition, ICP-MS)
  • Dermatologie, z. B. Behandlung von Psoriasis und Vitiligo mit XeCl-Lasern bei 308 nm
  • Immersionslithografie
  • Schreiben von Masken
  • Direkte Waferbearbeitung

Informationen zu Ophthalmik-Anwendungen und Links zum Thema Excimerlaser:

Downloads - Excimerlaser MLase MLI-Serie

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